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  深能級瞬態譜儀

 

德國Phystech FT1230深能級瞬態譜儀

產品簡介:

  FT230 是一款測量半導體領域研究和檢測半導體雜質、缺陷深能級、界面態等的重要技術手段。

德國Phystech FT1230深能級瞬態譜儀特征:

 接觸檢查
規測試和加強軟
動電補償
FET電流瞬態測量

容和度范

靈活性高、模化硬件

支持各種冷卻和溫度控制器
傅里葉轉換F-DLTS),比例窗口和用自定校正功能

     DLTFS(深傅里葉光譜儀

    

PhysTech 1990 年推出了第一臺數字 DLTS,隨著電腦技術的發展,使得在短時間內進行復雜計算成為可能。在純指數發射過程模型的基礎上,用各種數學模型分析測量到的瞬態過程,如傅里葉轉換、拉普拉斯轉換、多指數瞬態擬合、ITS(等溫瞬態光譜)信號重疊法、溫度掃描信號重疊法(重折疊)。與其他系統相比,HERA-DLTS 具有無法比擬的能量分辨率

 

 

 

技術原理:

     半導體的摻雜濃度、缺陷能級位、界面態(俘獲界面)是研究半導體性質的重要手段。此設備根據半導體P-N 結、金-半接觸結構肖特基結的瞬態電容(△Ct)技術和深能級瞬態譜(DLTS)的發射率窗技術測量出的深能級瞬態譜,是一種具有很高檢測靈敏度的實驗方法,能檢測半導體中微量雜質、缺陷的深能級及界面態。通過對樣品的溫度掃描,可以給出表征半導體禁帶范圍內的雜質、缺陷深能級及界面態隨溫度(即能量)分布的DLTS 譜。

 

應用領域:

ü  寬禁帶半導體

 

FT1230規格參數:

 

 通過一次溫度掃描,給出28個溫度掃描信號。

 溫度范圍:15K-450K77K~600K

電容補償:0.1-3000 pF
 

 

文獻列表

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